詳細(xì)說明
上銀HIWIN-晶圓機(jī)器人-E系列
WAFER ROBOT-E Series
HIWIN晶圓機(jī)器人助您實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)全自動(dòng)化
HIWIN晶圓機(jī)器手臂中的各關(guān)鍵零組件，如滾珠絲杠、直驅(qū)電機(jī)等，皆由HIWIN自行研發(fā)制造，軟硬件垂直整合，可提供高品質(zhì)的機(jī)器手臂，提升您的競(jìng)爭(zhēng)力，且可依客戶生產(chǎn)需求提供客制化服務(wù)。
單臂機(jī)器人（適用于2-12寸）
雙臂機(jī)器人（適用于2-12寸）
關(guān)鍵部件自制
機(jī)器手臂中的各關(guān)鍵部件，如滾珠絲杠、直驅(qū)電機(jī)等，皆由HIWIN自行研發(fā)制造，軟硬件垂直整合，可提供高品
質(zhì)的機(jī)器手臂，提升您的競(jìng)爭(zhēng)力，且可依客戶生產(chǎn)需求提供客制化服務(wù)。
關(guān)鍵部件自制
機(jī)器手臂中的各關(guān)鍵部件，如滾珠絲杠、直驅(qū)電機(jī)、直線導(dǎo)軌、伺服電機(jī)等，皆由HIWIN自行研發(fā)制造，軟硬件垂直整合，可提供高品質(zhì)的機(jī)器手臂，提升您的競(jìng)爭(zhēng)力，且可依客戶生產(chǎn)需求提供客制化服務(wù)。
適用于
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：晶圓傳送、晶圓翻轉(zhuǎn)傳送、鐵框(Frame]傳送
LED產(chǎn)業(yè)：藍(lán)寶石基板傳送、、膠環(huán)[Grip Ring]傳送
面板產(chǎn)業(yè)(小型面板4000m以0下
面板產(chǎn)業(yè)(小型面板400*400m以下）：面板傳送
選配：
一：牙叉IFork]|依客戶需求不同可選配對(duì)應(yīng)款式]
真空吸取、邊緣夾持、FC夾取式
二：掃片感測(cè)器(Mapping Sensor]
RW系列手臂支援掃片功能，選配掃片感測(cè)器(Mapping Sensor]即可讓手臂在進(jìn)行
取放片前偵測(cè)晶舟盒內(nèi)部的晶圓或基板是否有迭片、斜片的狀態(tài)，提供使用者相
關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行手臂取放動(dòng)作。
RW系列手臂支援掃片功能，選配掃片感測(cè)器(Mapping Sensor]即可讓手臂在進(jìn)行取放片前偵測(cè)晶舟盒內(nèi)部的晶圓或基板是否有迭片、斜片的狀態(tài)，提供使用者相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行手臂取放動(dòng)作。
三：教導(dǎo)器
●體積小，方便攜帶及操作，使用者可教導(dǎo)站點(diǎn)，測(cè)試手臂各站點(diǎn)取放動(dòng)作。
●圖式化功能鍵，操作簡(jiǎn)單。
●附有安全開關(guān)，可避免使用者因誤觸功能鍵造成手臂作動(dòng)。
●體積小，方便攜帶及操作，使用者可教導(dǎo)站點(diǎn)，測(cè)試手臂各站點(diǎn)取放動(dòng)作。
●圖式化功能鍵，操作簡(jiǎn)單。
●附有安全開關(guān)，可避免使用者因誤觸功能鍵造成手臂作動(dòng)。
四：末端效應(yīng)器
●真空吸取型:以真空負(fù)壓吸取晶圓、基板進(jìn)行移載。
●夾持型:夾持晶圓、基板邊緣進(jìn)行移載。
●翻轉(zhuǎn)型:以真空負(fù)壓吸取晶圓、基板進(jìn)行移載，可依使用者需求
讓晶圓、基板正反面翻轉(zhuǎn)。
●真空吸取型：以真空負(fù)壓吸取晶圓、基板進(jìn)行移載。
●夾持型：夾持晶圓、基板邊緣進(jìn)行移載。
●翻轉(zhuǎn)型：以真空負(fù)壓吸取晶圓、基板進(jìn)行移載，可依使用者需求讓晶圓、基板正反面翻轉(zhuǎn)。
單臂機(jī)器人（適用于2-12寸）
RWSE-T單臂頂部固定
RWSE-B單臂底部固定
雙臂機(jī)器人（適用于2-12寸）
RWDE-T雙臂頂部固定
RWDE-B雙臂底部固定
WAFER ROBOT-E SerieWAFER ROBOT-E Serie
吳女士 13527953137
相關(guān)標(biāo)簽：晶圓機(jī)械人 上銀晶圓機(jī)械人 機(jī)械手臂 單臂 雙臂
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